परमाणु ऊर्जा विज्ञान और विद्युत उत्पादन प्रौद्योगिकी जर्नल

कम ऊर्जा स्पटरिंग आयन स्रोत की परिचालन विशेषताएँ

हिकमत ए हमद, निबरास एफ अली और हैथम एम फारूक

कम ऊर्जा स्पटरिंग आयन स्रोत की परिचालन विशेषताएँ

इस कार्य में आयन स्पटरिंग के लिए उपयोग किए जाने वाले एक संशोधित फ्रीमैन आयन स्रोत को डिज़ाइन और निर्मित किया गया है। इस आयन स्रोत का चयन अर्धचालक उद्योग में आयन प्रत्यारोपण तकनीकों को नियोजित करने में इसकी उल्लेखनीय सफलता पर आधारित था। आयन स्रोत के डिज़ाइन और निर्माण का विस्तृत तकनीकी विवरण दिया गया है। थर्मियोनिक उत्सर्जन धारा माप किए गए और आयन स्रोत की निर्वहन विशेषताओं की बारीकी से निगरानी की गई। इसके अलावा, स्पटरिंग वोल्टेज, दबाव, चुंबकीय क्षेत्र की ताकत, आर्क वोल्टेज और फिलामेंट करंट जैसे कुछ मापदंडों के स्पटरिंग इलेक्ट्रोड करंट के मूल्य पर प्रभाव का अध्ययन किया गया। यह पाया गया कि इन मापदंडों को स्वतंत्र रूप से बदला जा सकता है, जिससे हम आयन स्रोत संचालन और स्पटरिंग प्रक्रिया को नियंत्रित कर सकते हैं। एक साधारण स्टेनलेस स्टील निष्कर्षण प्लेट का उपयोग करके निकाले गए आयन बीम के प्राथमिक परिणाम, स्पटरिंग प्रक्रिया के तहत पता लगाए गए कुल आयन बीम करंट में कमी दिखाते हैं।