परमाणु ऊर्जा विज्ञान और विद्युत उत्पादन प्रौद्योगिकी जर्नल

विभिन्न सामग्रियों का उपयोग करके आयन बीम प्रसंस्करण का अध्ययन

एजी हेलाल, एच एल-खबरी, एसआई राडवान

विभिन्न सामग्रियों का उपयोग करके आयन बीम प्रसंस्करण का अध्ययन

विभिन्न उत्कृष्ट गैसों का उपयोग करके विभिन्न लक्ष्य सामग्रियों में आयन बीम प्रसंस्करण के सिमुलेशन का अध्ययन किया गया। सिमुलेशन को 3keV से अधिक और 10keV तक की विभिन्न ऊर्जाओं पर एकल आवेशित नियॉन, आर्गन और क्रिप्टन आयनों का उपयोग करके आयोजित किया गया था। लक्ष्य सामग्री में आयन बीम की प्रवेश क्षमता, साथ ही बीम की ऊर्जा पर सीमा निर्भरता निर्धारित करने के लिए सिमुलेशन में ओपन सोर्स कंप्यूटर कोड SRIM 3D का उपयोग किया गया था। आयन प्रवेश सीमा पर लक्ष्य सामग्री परमाणु संख्या के प्रभाव का अध्ययन किया गया। लक्ष्य सामग्री में आयनों की सीमा और प्रक्षेप पथ का वितरण निर्धारित किया गया। आयन बमबारी के कारण अध्ययन की गई लक्ष्य सामग्रियों की स्पटरिंग उपज निर्धारित की गई थी, जो दर्शाती है कि सबसे अधिक स्पटरिंग उपज तब होती है जब क्रिप्टन को आयनों के उत्पादन के लिए कार्यशील गैस के रूप में उपयोग किया जाता है, हालांकि, सबसे कम सीमा क्रिप्टन आयन बीम की होती है।