नैनोफैब्रिकेशन नैनोमीटर में मापे गए आयामों वाले उपकरणों का डिजाइन और निर्माण है। एक नैनोमीटर मिलीमीटर का दस लाखवाँ भाग होता है। नैनोफैब्रिकेशन के लिए रुचि के विषय सबमाइक्रोन से नैनोस्केल तक लक्ष्य करने वाले लिथोग्राफिक तरीकों के सभी पहलू हैं, और भौतिक और जैव चिकित्सा प्रयोगों में निर्मित संरचनाओं और उपकरणों का अनुप्रयोग है। नैनोफैब्रिकेशन कंप्यूटर इंजीनियरों के लिए रुचिकर है क्योंकि यह सुपर-हाई-डेंसिटी माइक्रोप्रोसेसर और मेमोरी चिप के लिए द्वार खोलता है। यह सुझाव दिया गया है कि प्रत्येक डेटा बिट को एक परमाणु में संग्रहीत किया जा सकता है। नैनोटेक्नोलॉजी का विभाजन जिसमें नैनोस्ट्रक्चर का अध्ययन और अनुप्रयोग शामिल है, जिसे नैनोफैब्रिकेशन कहा जाता है। हाल के वर्षों में नैनो-स्केल उपकरणों के निर्माण के लिए उपयोग की जाने वाली विधियों में महत्वपूर्ण विकास हुए हैं। विधियों में इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी, परमाणु परत जमाव और आणविक वाष्प जमाव शामिल हैं। ये सभी तकनीकें उन तरीकों के विपरीत सामान्य वैज्ञानिक प्रगति का विस्तार हैं जिन्हें नैनो-उपकरणों के निर्माण के एकमात्र उद्देश्य से तैयार किया गया है।