जर्नल ऑफ़ नैनोमटेरियल्स एंड मॉलिक्यूलर नैनोटेक्नोलॉजी

नैनोलिथोग्राफ़ी

नैनोलिथोग्राफी नैनोटेक्नोलॉजी की वह शाखा है जो नैनोमीटर-स्केल संरचनाओं के निर्माण और सूक्ष्म स्तर पर नक़्क़ाशी, लेखन या मुद्रण की कला के अध्ययन और अनुप्रयोग से संबंधित है। वर्णों के आयाम नैनोमीटर के क्रम पर हैं। नैनोलिथोग्राफी में उपयोग किए जाने वाले उपकरणों में स्कैनिंग जांच माइक्रोस्कोप (एसपीएम) और परमाणु बल माइक्रोस्कोप (एटीएम) शामिल हैं। एसपीएम आवश्यक रूप से संशोधित किए बिना सतह को बारीक विवरण में देखने की अनुमति देता है। या तो एसपीएम या एटीएम का उपयोग एकल-परमाणु आयामों में सतह पर खोदने, लिखने या प्रिंट करने के लिए किया जा सकता है। नैनोलिथोग्राफी का उपयोग उदाहरण के लिए अग्रणी-धार सेमीकंडक्टर इंटीग्रेटेड सर्किट (नैनोसर्किट्री) के नैनो निर्माण के दौरान, नैनोइलेक्ट्रिक ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (एनईएमएस) के लिए या नैनोरिसर्च में विभिन्न वैज्ञानिक विषयों में लगभग किसी भी अन्य मौलिक अनुप्रयोग के लिए किया जाता है। यह तकनीक विभिन्न सेमीकंडक्टिंग इंटीग्रेटेड सर्किट (आईसी), एनईएमएस के नैनोफैब्रिकेशन और अनुसंधान में विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए उपयोग करने के लिए उपयुक्त हो सकती है।